bet36体育在线
微信二维码
icon 您的位置:首页 » 会员产品 » 设备材料企业 » 公司介绍
上海微电子装备有限公司
Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd

主要产品及性能介绍

500步进光刻机系列

500系列步进投影光刻机基于先进的步进光刻机平台技术,面向IC后道封装、MEMS/NEMS制造领域,适用于Flip Chip工艺中常用的金凸块(Gold Bump)、焊料凸块(Solder Bump)、铜柱 (Copper),以及晶圆级封装(WLP)的重新再布线层(RDL)等先进封装工艺;通过选配背面对准模块,还可以适用于3D-TSV和MEMS等应用的双面光刻工艺。

300步进光刻机系列

300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域,非常适合HB-LED 、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。

200投影光刻机系列

200系列投影光刻机采用先进的投影光刻机平台技术,专用于新一代AM-OLED显示屏TFT电路制造,可支持基板尺寸包括200mm×200mm、370mm×470mm、730mm×920mm、1300mm×1500mm。该系列设备具有高分辨率、高套刻精度和低拥有成本等特点,可满足客户研发和量产生产线工艺要求。

光刻机衍生产品——温度控制产品

SMEE为bet36体育在线行业提供多种超/高精度温度控制装置,可分别用于半导体前道设备中的扫描光刻机、各种刻蚀和化学沉积设备的精密温度控制,也可应用于精密光学、仪器、精密机床制造及各种科学实验场所。温度精度可达0.01℃,控温范围可达-20℃至90℃。

联系方式

www.yjymfj.com,www.bjtape.com,www.mamahigh.com,www.tzhdxf.com,www.aisuixi.com,www.hnrtsy.com,www.tjyrzx.com,www.maibaxieye.com,www.2hoox.net,www.jtao.org
友情链接:bet36体育在线app